Inżynieria Ceramics Inc. (EC © ™) Raport:
EcPrzekazanie próżni- Podsumowanie techniczne
EC specjalizuje się w wysokiej wydajności podawania próżni, takich jak:
✔ Izolator ceramiczny do izolacji ultra wysokiego napięcia (AL₂O₃/ALN)
✔ Technologia lutowania próżniowego (szybkość wycieku <10⁻⁹ mbar · L/s)
✔ Hermertowa uszczelnienie dla turbosprężarki pompy cząsteczkowej/pomp jonowych (kompatybilny z UHV/XHV)
✔ Niestandardowe konfiguracje dla aplikacji półprzewodników, lotniczych i badawczych
Tabela 1: Klasyfikacja oparta na zasadzie działania
|
rodzaje |
Teoria działania |
Ostateczna próżnia (PA) |
Główne funkcje |
Główne zastosowania |
|
Obrotowa pompa Vane |
Przejście z obrotową furgonetką |
1E-1 ~ 1E2 |
Typ pieczęci olejowej, wymagana konserwacja |
Pompa na pierwszej linii/tylnej |
|
Sucha pompa przewijania |
Kompresja gazu przez spirale orbitalne |
1E-2 ~ 1E1 |
Bez oleju, niskie wibracje |
Sprzęt laboratoryjny |
|
Dmuchawa korzeni |
Transport gazu za pomocą płaty obrotowych |
1E-1 ~ 1E3 |
Wysoka przepustowość, często wielopoziomowa |
Przemysłowy system próżniowy |
|
Pompa dyfuzyjna oleju |
Przenieś pęd parowy |
1E-7 ~ 1E-4 |
Brak ruchomych części, pułapki zimne |
Zezwolenie na wiązkę E. |
|
Turbo pompa molekularna |
Szybki wirnik (> 60 000 rpm) zderza się z cząsteczkami |
1E-9 ~ 1E-6 |
Czystość, wrażliwa wibracje |
UHV Science Machine |
|
Pompa kriogeniczna |
Kondensacja gazu na powierzchniach <20 000 |
<1e-10 |
Wymagana maksymalna próżnia i regularna regeneracja |
Symulacja środowiska kosmicznego |
Tabela 2: Klasyfikacja według poziomu próżniowego
|
Zakres próżni |
Ciśnienie (PA) |
Optymalny typ pompy |
Względy techniczne |
|
Gruboziarnista próżnia |
1E5 ~ 1E2 |
Rotary Vane, przepona |
Wsparcie pod wysokim ciśnieniem z balastem gazowym |
|
Niska próżnia |
1E2 ~ 1E-1 |
Korzenie + Rotary Vane |
Prędkość vs. wydajność energetyczna |
|
Wysoka próżnia |
1E-1 ~ 1E-7 |
Dyfuzja, |
Zapobieganie grzbietowi |
|
Ultra-wysoka próżnia (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Jon, kriopump |
Wybór materiału jest ważny |
|
Niezwykle wysoka próżnia |
<1e-10 |
Hybrydowy jon-cryosystem |
Środowisko poziomu kwantowego |
Przewodnik wyboru pompy próżniowej
Kluczowe kryteria wyboru
1. Ostateczny poziom próżni
Wymagany poziom próżni musi spełniać specyfikacje procesu. Na przykład:
- W produkcji półprzewodnikowej zwykle wymagane są poziomy próżni poniżej 10⁻⁶ PA.
- W procesach przemysłowych może działać skutecznie w zakresie od 10⁻¹ 10²
2. Prędkość pompowania
Mierzone w litrach na sekundę (L/S) lub metra sześcienne na godzinę (m3/h)
Wybierz odpowiedni rozmiar dla pojemności komory i obciążenia gazem
Zastosowania o wysokiej przepustowości (np. Piece próżniowe) mogą wymagać 1000+ m3/h
3. Kompatybilność gazu i chemiczna
- Standardowe zastosowanie: Standardowe materiały (stal nierdzewna, aluminium)
- Środowisko żrące: Wymagane są specjalne materiały, na przykład:
- części powlekania PTFE (dla kwasu)
- stop hastelloy lub nikiel (dla potężnych chemikaliów, takich jak chlor)
4. Efektywność energetyczna i konserwacja
- Pompa uszczelnienia oleju:
- niski koszt początkowy
- Wymagane są regularne zmiany oleju (co 2000 do 4000 godzin)
- Ryzyko zanieczyszczenia oleju poprzez wrażliwe procesy
- sucha (bezleżna) pompa:
- Wysoka początkowa inwestycja
- Brak wymagania konserwacji (bez zmiany oleju)
- Zalecane do czystych procesów (np. Leki, żywność)
Główna terminologia omówiona w tym tekście jest następująca:
1. Uszczelki próżniowe - Uszczelka próżniowa, technologia uszczelnienia próżniowego i podawanie próżniowe są skuteczne (połączenie uszczelniające).
2. Część przetrwalona (かんつうぶ)-Przeczarowana część, ogólnie odnosi się do części przechodzących przez ściany lub partycje, a czasem jest używane do opisywania struktur podobnych do próżni.
3. Furanzi - kołnierz, powszechnie stosowany w elementach połączenia systemu próżniowego, sprzęt związany z próżnią może obejmować ten termin.
4. Złącze próżniowe - złącze próżniowe, złącze próżniowe pod powietrzem i możliwość dostępu do podawania.
5. Penetracja izolacji - zdolność do wykonywania podczas podawania próżniowego.
Słowa te nie są całkowicie równoważne z „wycofaniem próżni”, ale mogą być używane jako przybliżenia lub powiązane warunki w pewnych okolicznościach. Który język do użycia zależy od szczegółów technicznych i norm branżowych, dlatego zaleca się odwołanie się do odpowiedniej literatury specjalistycznej lub skonsultować się z ekspertem w celu zapewnienia dokładności.
Oświadczenie: Artykuł/Wiadomości/Wideo pochodzi z Internetu lub, wykonane przez oprogramowanie AI. Nasza strona przedruków w celu udostępniania. Prawa autorskie przedrukowanego artykułu/wiadomości/wideo należy do oryginalnego autora lub oryginalnego oficjalnego konta. Jeśli w grę wchodzi jakiekolwiek naruszenie, prosimy o poinformowanie nas na czas, a my je zweryfikujemy i usuniemy.
