Inżynieria Ceramic Co., (EC © ™) Raport:
Zintegrowane bubbler ALD (osadzanie warstwy atomowej) to kluczowe elementy pojemnika, które stosowane do przechowywania materiałów prekursorowych w procesie osadzania warstwy atomowej może pomóc w zawarciu pary prekursorowej w przepływie gazu buforowego. Nie tylko w przypadku ALD, stosowane również do chemicznego osadzania pary (CVD), chemicznego osadzania pary metalowo-organizacji (MOCVD).
W 28. tygodniu EC został dostarczonyDostosowywany elektroda wtyczki lotniczej dla ALD (osadzanie warstwy atomowej) System dostarczania pary prekursorowej.
Aplikacja
Produkcja półprzewodników:
W produkcji chipów, w celu wyhodowania wysokiej jakości warstw izolacyjnych bram (takich jak filmy dielektryczne o wysokiej κ), metalowe warstwy połączeń i inne struktury filmowe,AldButelki źródłowe zawierają odpowiednie prekursory, aby zapewnić precyzyjne osadzanie warstwy atomowej, które odgrywa ważną rolę w poprawie wydajności układów i zmniejszeniu zużycia energii.
Systemy mikroelektromechaniczne (MEMS):
Służą one do przygotowywania różnych filmów w urządzeniach MEMS, takich jak wrażliwe filmy czujników i filmy funkcjonalne na powierzchniach struktur mikro mechanicznych, pomagając poprawić czułość, stabilność i inne wskaźniki wydajności urządzeń MEMS. Optyczny
Pole powłoki:
Mogą przechowywać prekursory używane do osadzania filmów optycznych (takich jak filmy antyrefleksyjne, filmy odblaskowe itp.). Poprzez proces ALD filmy spełniające optyczne wymagania dotyczące wydajności mogą być precyzyjnie wyhodowane na podłożach, takich jak soczewki optyczne i ekrany wyświetlacze w celu poprawy transmitancji, współczynnika odbicia i innych właściwości optycznych produktów optycznych.
Oświadczenie: Artykuł/Wiadomości/Wideo pochodzi z Internetu. Nasza strona przedruków w celu udostępniania. Prawa autorskie przedrukowanego artykułu/wiadomości/wideo należy do oryginalnego autora lub oryginalnego oficjalnego konta. Jeśli w grę wchodzi jakiekolwiek naruszenie, prosimy o poinformowanie nas na czas, a my je zweryfikujemy i usuniemy.
